イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P2-SS2-5

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 西邑 亜香音（京都大学）, 鷹尾 祥典（横浜国立大学）, 土屋 智由（京都大学）

キーワード: エレクトロスプレースラスタ|イオン液体|ガラス|ドライフィルムレジスト|二段電極

要約(日本語): 本研究ではイオン液体エレクトロスプレースラスタ開発に向けて二段電極構造を作製した。貫通穴を加工したガラスの両面にドライフィルムレジストを用いて金属をパターニングし、電極同士が導通しない二段電極を作製した。また、電極チップとエミッタチップのアライメントとエミッタチップへのイオン液体供給を行う治具を作製し、電圧印加実験を行った。

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