電解エッチング法を用いた微細構造を有するチタン製マイクロメスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-69

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 栗田 政宗（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）

キーワード: 電解エッチング|チタン|マイクロメス|微細構造|切れ味

要約(日本語): 本研究では，電解エッチング法を利用したチタン製のマイクロサージャリー用メスの開発および，それを用いた引き切り試験の評価結果について報告する。電解エッチング法による加工で発生するアンダーカットを利用することで，鋭利な刃先形状を備えたマイクロメスを作製することに成功した。さらに，微細構造を導入することで切断抵抗のさらなる低下にも成功した。

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