マイクロ毛細管チャネルを用いた光学的平滑表面を有する カラーフィルタパターンの作製プロセス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-71

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 渡邊 朋也（立命館大学）, 道垣内 公介（立命館大学）, 足立 悠輔（立命館大学）, 小林 大造（立命館大学）

キーワード: 毛細管効果|カラーフィルタ|光学平坦性|マイクロコンタクトプリント

要約(日本語): 本研究では、矩形断面の流路へ毛細管効果を用いてカラーインクを充填し、硬化させる方法によるカラーフィルタのパターニング手法を提案する。ソフトコンタクトプリンティングにより形成した流路鋳型を用いることで、光の入出射面の平坦性を確保できる。また、インレットにインクを置くだけで能動型のポンプを用いることなく自動的にインクを充填することができる。流体パラメータを変化してスループット改善についても検討した。

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