下地層Au膜の表面構造によるPZT膜の結晶性への影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-74

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 佐藤 翔介（東京工業高等専門学校）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）, 川又 由雄（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）

キーワード: 圧電|PZT結晶性|Au下地層|傾斜成膜

要約(日本語): 本研究では，下地層Au膜の表面構造とPZTの結晶性との関係を調査した．傾斜成膜した下地層Au膜の表面形状を評価した結果、角度が高いほど表面の粒が大きくなることを確認した。また、この下地層Au膜上のPZTの結晶配向性を評価した結果では，0°（平行）ではPZT(100)面が強く配向し，高角度になるに伴いPZT(110)面が強く配向することが分かった．このことから下地層の表面構造と結晶配向性には一定の関係性があることが明らかとなった．

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