同軸光学系参照光方式による対象物までの距離・寸法の同時計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-76

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 関 優（諏訪東京理科大学）, 米窪 政敏（諏訪東京理科大学）, 橋元 伸晃（諏訪東京理科大学）

キーワード: レーザー参照光方式|同軸光学系|距離と寸法の同時計測|高精度計測システム

要約(日本語): 従来、近接領域にある対象物の非接触寸法計測方法として，照射レーザービーム径を基準として，対象物との寸法を比較推定する方法が検討されてきた。それらはレーザービームと撮像光学系の光軸のずれによる視差が原因で，推定精度が低下する課題があった。本研究では，光軸のずれを無くし，さらに対象物までの距離と寸法の同時計測ができる計測手法を考案し，高精度で計測可能であることがわかったため，それらの結果を報告する。

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