酸化物半導体ナノ粒子複合膜を用いたマイクロ流体電気化学発光デバイスの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-77

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 岡田 紘治（法政大学）, 笠原 崇史（法政大学）

キーワード: 電気化学発光|電子注入層|マイクロ流路|ナノ複合膜

要約(日本語): 2種類の酸化物半導体ナノ粒子からなる複合膜を電子注入として用いたマイクロ流体電気化学発光デバイスを検討した。MEMSプロセスと真空紫外線を用いた直接接合法により、厚さ5μmのSU-8流路内に電子注入層を埋め込んだマイクロ流体デバイスを作製した。炭酸プロピレンで調製したルテニウム溶液を用いてデバイスの特性を評価した結果、直流電圧3.3 V印加時に、最大輝度が216 cd/m2の強いオレンジ色の発光が観測された。

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