Development of electro-thermal excitation technique for graphene-based resonant mass sensor

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-79

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: PHAM VIET KHOA（Toyohashi University of Technology）, 坪内 麟太郎（Toyohashi University of Technology）, 秋田 一平（産業技術総合研究所）, 野田 俊彦（Toyohashi University of Technology）, 澤田 和明（Toyohashi University of Technology）, 髙橋 一浩（Toyohashi University of Technology）

キーワード: MEMS共振センサ|架橋グラフェン|レーザ励起加振技術|電熱励起加振技術

要約(日本語): 非標識でタンパク質などの生体分子を検出する小型センサとして、本研究室では共振膜に架橋グラフェンを用いた高感度MEMS共振質量センサを提案している。グラフェンの振動測定はレーザー加振法が主流であるが、システムの小型化に向け、本発表ではジュール熱加振技術による架橋グラフェンの共振特性の評価を行った。電流駆動により架橋グラフェンの共振を確認し、グラフェン共振センサの携帯化に向け、駆動部の小型化を実証した。

PDFファイルサイズ: 377 Kバイト