タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-80

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 横田 隆人（兵庫県立大学）, 前中 一介（兵庫県立大学）, 神田 健介（兵庫県立大学）, 藤田 孝之（兵庫県立大学）

キーワード: タイヤトレッドの固有振動による発電|スパッタリングによる厚膜PZTの成膜|PZT直列接続による出力電圧の向上

要約(日本語): 本研究では，タイヤ内IoTデバイスの駆動電源としての使用を想定し，トレッドの固有振動を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタの試作・評価を行った．出力電圧・電力の向上を図るため，スパッタリングにより厚膜（10μm）のPZTを成膜し，金属重りを貼り付け，またPZTを直列接続している． その結果182μW/1G（221Hz共振時）の出力電力が得られ，150G近くのパルス加速度に耐えることができた．

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