屋内空気質モニタリングに向けた低消費電力MEMS CO2センサの高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-84

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 王 萍（東芝）, 石橋 史隆（東芝）, 久留井 慶彦（東芝）, 山﨑 宏明（東芝）

キーワード: MEMS|CO2センサ|熱伝導型|低消費電力|屋内空気質

要約(日本語): 低消費電力での屋内空気質モニタリングに向け、熱伝導型MEMS CO2センサの高感度化を検討した。メンブレン内にマイクロヒーターと温度センサを積層することで小型化を実現し、高感度化と低消費電力の両立を可能にした。その結果、従来の熱伝導型センサで検出が困難であった250 ppmのCO2検出に成功した。更に1msの高速の熱応答特性により0.1 mW以下の低消費電力でのヒーター駆動が可能である事を示した。

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