MEMSカンチレバーを用いた高性能音響評価技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-89

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: グェン タンヴィン（産業技術総合研究所）, 岡本 有貴（産業技術総合研究所）, 一木 正聡（産業技術総合研究所）

キーワード: 音響評価|カンチレバー|MEMS|レーザドップラー効果

要約(日本語): 本研究では、従来のカンチレバーに比べて音響コンプライアンスが100倍以上高いカンチレバーを音圧の検出器として使用することで、音響を高感度に評価する手法を実現した。提案した手法により、100Hz以下の周波数領域では10μPaという高い分解能が得られた。

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