Cr-N薄膜を用いた小型高耐荷重ロードセル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-90

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 竹野 広晃（ジオマテック）, 神山 竜一（ジオマテック）, 宮武 正平（ジオマテック）, 伊東 孝洋（ジオマテック）, 丹羽 英二（電磁材料研究所

キーワード: Cr-N薄膜|ひずみセンサ|ロードセル|周方向配置|ダイアフラム

要約(日本語): 我々は小型で高耐荷重なロードセルの開発を進めている。本研究では，横感度の大きいCr-N薄膜を周方向配置した外径10 mmのダイアフラム素子を用いたロードセルを試作評価した。その結果，測定出力が構造解析結果とよい一致を示すこと，および，小型にもかかわらず1kNの荷重検知が可能であることを確認し，上記ダイアフラム素子の利用によるロードセルの小型化および高耐荷重化の可能性が示された。さらなる小型化を目指す。

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