酸化チタン膜を利用したQCMガスセンシングに関する基本特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSL-91

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 久保田 浩司（東海大学）, 岩森 暁（東海大学）, 野田 和俊（立命館大学）

キーワード: QCMセンサ|酸化チタン|水晶振動子|紫外光|赤外光

要約(日本語): 酸化チタン（TiO2）を水晶振動子上に成膜し、紫外線（UV）、赤外光（IR）光照射による検知特性を調査した。 その結果、光照射によるエタノール測定に対する応答特性の向上が示された。ただし、UV、IRの明確な違いは示されなかった。また、水分測定では光照射の効果は示されなかった。このことから、今回のTiO2を成膜したQCMセンサは、有機系物質に対しては光照射が検知特性に影響を与える可能性が示された。

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