複眼イメージング用Alvarezメタレンズに関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-17

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 阿出川 彪（東京農工大学）, 工藤 光太（東京農工大学）, 青木 活真（東京農工大学）, 池沢 聡（東京農工大学）, 岩見 健太郎（東京農工大学）

キーワード: メタレンズ|Alvarezレンズ|複眼レンズ|アモルファスシリコン|電子線描画

要約(日本語): 単焦点化に有利な複眼構造をもつAlvarezメタレンズを,a-Siを用いて設計・製作した。柱の寸法誤差は実験的最適化と逆設計により補正した。最適化された製造プロセスより,Si柱はすべての寸法で,またレンズのほとんどの部分で欠陥なく製造されていることが確認できた。

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