アモルファスシリコンを用いた超薄型アキシコンメタレンズの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-20

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 高木 鴻佑（東京農工大学）, 小川 主税（東京農工大学）, 池沢 聡（東京農工大学）, 岩見 健太郎（東京農工大学）

キーワード: メタレンズ|アキシコンレンズ|ベッセルビーム|リング集光|アモルファスシリコン

要約(日本語): 本論文では,波長900 nmにおいてリング状の集光を形成するアキシコンメタレンズの開発を行った。アキシコンメタレンズは,ガラス基板上に,400 nmのSiスパッタ蒸着,電子線描画装置,アルミ蒸着,反応性イオンエッチングを用いて作製した。走査電子顕微鏡や大口径ビームプロファイラーを用いた測定結果から,シリコンの柱が製作されており,開発したアキシコンメタレンズは、リング集光を形成することがわかった。

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