シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-24

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 韓 剛（豊田工業大学）, 佐々木 実（豊田工業大学）

キーワード: シリコンハードマスク|ステンレス鋼|マイクロテクスチャー|シリコン貫通穴構造|物理エッチング

要約(日本語): 本論文では,2μm幅の貫通孔を持つSi構造を作製した。この構造体をハードマスクとして,Ar+イオンを用いたステンレス鋼のドライエッチングを行った。得られたアスペクト比は約2であり,シリコンハードマスクの有効性が確認された。

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