Feed-back control of PZT actuator with built-in buried piezoresistors

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-26

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: ベルガラ アンドレア（東北大学）, 塚本 貴城（東北大学） , 田中 秀治（東北大学）

キーワード: PZTアクチュエーター|ピエゾ抵抗センサー|フィードバック制御|MEMS|カンチレバー

要約(日本語): この論文では、ピエゾ抵抗センサーを内蔵したフィードバック制御圧電MEMSアクチュエータを報告する。 センシング信号の復調された位相と振幅は、それぞれフェーズロックループ(PLL)と振幅ゲイン制御(AGC)ループで個別に制御された。 残留誤差は1145ppmからわずか5ppmに減少し、標準偏差とバイアス安定性はそれぞれ43%と75%減少した。

PDFファイルサイズ: 780 Kバイト