Al?O?絶縁薄膜を用いた静電型触覚ディスプレイに関する基礎検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-27

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 近藤 雅敏（新潟大学）, 佐藤 淳喜（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）

キーワード: 触覚ディスプレイ|静電気力|摩擦力制御|Al?O?|ヒューマンインターフェース

要約(日本語): 我々はこれまで,静電引力により摩擦力変化を提示可能な静電型触覚ディスプレイの低電圧化を進めてきた。しかし,安全性や消費電力の観点から更なる低電圧化が必要であり,接触を伴うため機械的な耐久性も要求される。そこで本研究では,薄膜化が容易で高い誘電率を持ち,さらに高硬度で耐摩耗性に優れた材料であるAl?O?を絶縁膜として用いたデバイスを試作・評価した。その結果,25Vという低電圧で摩擦力の増加を確認できた。

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