ウエハレベルパッケージ技術による低侵襲医療用極小3軸MEMS触覚センサの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 今西 智也（神戸大学）, 宮本 桂寿（神戸大学）, 東 駿太郎（神戸大学）, 大木 舜介（神戸大学）, 上杉 晃生（神戸大学）, 菅野 公二（神戸大学）, 青野 宇紀（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）

キーワード: カテーテル|ガイドワイヤ|触覚センサ|ウエハレベル接合|ピエゾ抵抗素子

要約(日本語): 本研究では、医療用カテーテル用に最小直径320μmである3軸MEMS触覚センサーを作製することに成功した。小型化されたセンサは最小のガイドワイヤーの先端に取り付けられ、血管壁を突破する事故を回避するために触覚を得ることができると期待される。

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