シリカ微粉末を用いたエレクトレットとそれを用いた超音波センサの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-36

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 蔭山 健介（埼玉大学）, 小林 駆（埼玉大学）, 川田 良暁（埼玉大学）, 菅原 柊（埼玉大学）, 坂井 建宣（埼玉大学）

キーワード: エレクトレット|シリカ|凝集体|超音波センサ|スピンコート

要約(日本語): 微粉末シリカの分散液をスピンコートしてエレクトレットを作製し,その電荷保持特性を調べた。微粉末シリカを用いたエレクトレットは,コロイダルシリカを用いたエレクトレットよりも優れた電荷保持特性を示した。また,作製したエレクトレットを用いてECSを製作し,空中超音波の送受信特性を調べた。その結果,微粉末シリカの分散液をスピンコートすることで,ピーク周波数や周波数帯域が大幅に改善された。

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