変調信号を用いた半導体式ガスセンサの温度制御手法の提案とこれによる単一素子でのガス識別

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-38

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 佐伯 真彬（富山県立大学）, 大倉 裕貴（富山県立大学）, 吉河 武文（富山県立大学）, 岩田 達哉（富山県立大学）

キーワード: においセンサ|半導体式ガスセンサ|温度変調|化学センサ|ガス識別

要約(日本語): 本研究では,単一素子でのにおいセンシングに向けて,半導体式ガスセンサの温度変調に振幅や周波数が周期的に変化する変調信号を用いる手法を提案する。この手法を用いた時のセンサ応答からガス識別を行い,正弦波信号を温度変調に用いた時のガス識別率との比較から,変調信号を用いることでガス識別率の向上が可能であることが示された。さらに,変調信号のパラメータ最適化により,より高精度なガス識別可能性が示唆された。

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