水晶発振回路式複素容量センサを用いた金エッチングの 非接触エンドポイントディテクター

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 奥脇 琢朗（新潟大学）, 灰野 貴晶（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）

キーワード: 終点検出|ウェットエッチング|微細加工|非接触|水晶センサ

要約(日本語): 本研究では,腐食性の高い液体を用いたウェットエッチングの工程管理が可能な非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発を試みた。具体的には,検出用コンデンサと水晶発振回路を繋ぎ,液体の複素誘電率の変化を共振周波数変化として測定する手法をベースとして,ウェットエッチング工程での終点の検出やエッチング液の劣化評価への応用を試みた。

PDFファイルサイズ: 878 Kバイト