スパッタSi膜積層による光導波型SPRセンサの高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-48

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 新國 広幸（東京工業高等専門学校）, 高橋 大翔（電気通信大学）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）, 川又 由雄（東京工業高等専門学校）

キーワード: 光導波型|表面プラズモン共鳴|屈折率センサ|スパッタSi膜|感度向上

要約(日本語): スパッタSi膜を金属層の上に積層することによる光導波型SPRセンサの高感度化について報告する。Si膜厚の感度依存性を評価し,Si 0,3,5 nmそれぞれの感度は,4482 nm/RIU,5018 nm/RIU,5573 nm/RIUと求まった。Si0nmとSi3nm,Si5nmとで比較すると,3nm,5nmのほうが1.12倍,1.24倍感度が高い結果となり,スパッタSi積層による高感度化が確認できた。

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