バッファアンプを搭載したシリコンナノニードル電極のマウス急性計測応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-49

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 阪野 友亮（豊橋技術科学大学）, 鶴原 秋平（豊橋技術科学大学）, 清木場 悠（豊橋技術科学大学）, 山下 幸司（豊橋技術科学大学）, 井戸川 槙之介（釧路工業高等専門学校）, 北 裕人（豊橋技術科学大学）, 鈴木 巧（テクノプロ・テクノプロR&D社）, 沼野 利佳（豊橋技術科学大学）, 鯉田 孝和（豊橋技術科学大学）, 河野 剛士（豊橋技術科学大学）

キーワード: ナノ電極|ソースフォロワ|実装|マウス|急性計測

要約(日本語): 本研究では,半導体結晶成長技術であるVLS法及びウェットエッチングにより製作した先端直径が1 μm以下のSiナノニードル電極の高インピーダンス特性の改善を目的に,ソースフォロワを搭載した,通称STACKデバイスを製作した。これにより電圧入出力比が改善すると共に,マウスによる急性計測ではナノ電極のみでは確認できなかった単一のニューロン活動に由来する細胞外電位を取得することができた。

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