バイオミメティクスを指向したMEMS多段フィン微細構造の形成と Ni電鋳マイクロ金型および樹脂への形状転写手法の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-58

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 矢作 徹（山形県工業技術センター）, 山田 直也（山形県工業技術センター）, 加藤 睦人（山形県工業技術センター）, 渡部 善幸（山形県工業技術センター）, 峯田 貴（山形大学）

キーワード: バイオミメティクス|多段フィン構造|MEMSプロセス|Ni電鋳金型|熱インプリント

要約(日本語): 本研究では、モルフォ蝶の鱗粉構造を模倣した微細多段フィン構造をMEMS技術で作製し、その形状をNi電鋳品に転写した。作製したNi電鋳金型を用いて、熱インプリント成形を行い、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、シクロオレフィンポリマ(COP)、ポりエチレン(PE)等の熱可塑性樹脂への形状転写について検討した。形状転写したPMMAは、380～600 nmの領域で反射強度が大きくなった。

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