冷却型熱式オンチップ流量センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-6

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 岡本 有貴（産業技術総合研究所）, グェン タンヴィン（産業技術総合研究所）, 岡田 浩尚（産業技術総合研究所）, 一木 正聡（産業技術総合研究所）

キーワード: 熱式流量センサ|マイクロ流路|ペルチェ素子|Calorimetric|Hot-film

要約(日本語): 本研究では、熱源としてペルチェ素子を用いた冷却型熱式流量センサを提案し、実際に作製して計測を行った。Hot-film型とCalorimetric型の2種類の方式を集積することで、広範囲に、高精度に流量を計測することに成功した。

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