旋回戻りコイル構造MEMSロゴスキーコイル型電流センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-63

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 渡部 善幸（山形県工業技術センター）, 加藤 睦人（山形県工業技術センター）, 矢作 徹（山形県工業技術センター）, 村山 裕紀（山形県工業技術センター）, 山田 直也（山形県工業技術センター）, 吉田 賢一（新電元工業）, 前原 謙一（新電元工業）, 福田 祐介（新電元工業）, 指田 和之（新電元工業）, 池田 克弥（新電元工業）

キーワード: MEMS|ロゴスキーコイル|電流センサ|TSV|戻りコイル

要約(日本語): 外部磁界キャンセルを目的とした旋回しながら戻りコイルを形成するロゴスキーコイル型電流センサを作製した。センサのデバイスサイズは10×10×0.3mm3で、直径100μm、深さ300μmのTSVを用いて基板の断面内で旋回するコイルを形成した。基板上に時計回りのコイルと、終端から反時計回りの戻りコイルを形成することで外部磁界キャンセル機能をもたせた。

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