極薄PTFE層を有するワイヤ電極の電荷保持特性とエレクトレットセンサへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-7

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 川井 建（埼玉大学）, 蔭山 健介（埼玉大学）

キーワード: エレクトレット|エレクトレットセンサ|ワイヤ|ディップコーティング|空中超音波

要約(日本語): ワイヤ電極上にPTFE層をディップコートし,エレクトレットおよび絶縁層としての電荷保持特性を調べた.そして,ワイヤアレイECSとシングルワイヤECSを製作し,空中超音波の受信特性を調べた.ワイヤ電極はフィルム電極に比べて電荷保持特性が低下していた.ワイヤアレイ型ECSは超音波の受信感度をわずかに向上させたが,ピーク周波数を大きく低下させた.シングルワイヤECSは空気中のあらゆる方向からの超音波を検出することができた.

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