真空アーク蒸着法を用い作製したNd-Fe-B系磁石膜の特性向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 10P3-SSP-8

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 日笠山 航也（長崎大学）, 山下 昂洋（長崎大学）, 柳井 武志（長崎大学）, 中野 正基（長崎大学）, 福永 博俊（長崎大学）

キーワード: 真空アーク蒸着|Nd-Fe-B 系磁石膜|ニック| (BH)max

要約(日本語): Here, preparation of isotropic Nd-Fe-B film magnets using a VAD (Vacuum Arc Deposition) method was carried out. This contribution reports the improvement in squareness of a demagnetization curve of a Nd-Fe-B film by eliminating the edge of a deposition area. Resultantly, we could increase the value of (BH)max by approximately 10 kJ/m3 compared with that of a previously-reported Nd-Fe-B film prepared by VAD. In order to ally the films to a small devices, favorable values of magnetic properties could be obtained in a sample with 15 ×15 mm square.

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