全固体アモルファス薄膜リチウムイオン電池の作製と評価に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 11A3-SS2-1

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 辻 健太（神戸大学）, 吉田 将康（神戸大学）, 神野 伊策（神戸大学）

キーワード: 全固体電池|リチウムイオン電池|RFマグネトロンスパッタ|MEMSデバイス|アモルファス

要約(日本語): 本研究ではRFマグネトロンスパッタ法を用い,酸化バナジウム・LiPON・シリコンのアモルファス薄膜を成膜する事で全固体薄膜リチウムイオン電池をポリイミド樹脂基板上に作製した.作製した電池は0.5-4.0 Vの電圧範囲で5 μAh/cm^2を超える初期充放電容量を有することが確認された.また,ガラス基板上に作製したサンプルと比較評価し基板材料が電池性能に与える影響を調査した.

PDFファイルサイズ: 648 Kバイト