抗原抗体反応のオンチップ検出に向けたグラフェン型表面応力センサの作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 11A3-SS2-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 新野 謙（豊橋技術科学大学）, 上坂 淳平（豊橋技術科学大学）, 坪内 麟太郎（豊橋技術科学大学）, 金森 亮人（豊橋技術科学大学）, 喜種 慎（豊橋技術科学大学）, 古澤 絵里子（豊橋技術科学大学）, 飛沢 健（豊橋技術科学大学）, 赤井 大輔（豊橋技術科学大学）, 野田 佳子（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学），野田 俊彦（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 髙橋 一浩（豊橋技術科学大学）

キーワード: グラフェン|光干渉|表面応力|CMOS-MEMS|バイオセンサ

要約(日本語): 本研究では、架橋グラフェンを用いた表面応力センサを用いて、COVID-19の重症化マーカーであるCCL-17の検出に報告する。また、このセンサ構造を標準CMOSプロセスで作製された検出回路に形成するためのプロセス検討を行った。その結果、検出回路上にグラフェンの架橋構造をSEM画像から確認し、干渉特性から電気測定による生体内分子検出の可能性を示した。

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