コンフォーマルな製膜手法向けMEMS応力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 11P2-SS2-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 宇佐美 尚人（ISAS/JAXA）, 太田 悦子（東京大学）, 肥後 昭男（東京大学）, 百瀬 健（東京大学）, 三田 吉郎（東京大学）

キーワード: MEMS|センサ|残留応力|原子層堆積法|超臨界流体薄膜堆積法

要約(日本語): 本発表ではMEMS技術により作製された、コンフォーマルな製膜手法向け残留応力センサについて発表する。提案センサをアレイ化することで、製膜前後でのセンサの変位と膜厚の情報から応力の値を推定することができる。本研究ではセンサの理論モデルをFEM及び超臨界流体薄膜堆積法による実験から検証した。

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