紫外プラズモン共鳴を用いたオゾン・アンモニアガスセンサ素子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 11P2-SS2-5

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 渡邉 凌（東京農工大学）, 池沢 聡（東京農工大学）, 岩見 健太郎（東京農工大学）

キーワード: プラズモン共鳴|金属誘電体金属構造|有限要素法解析|電磁場解析|紫外線

要約(日本語): 本研究では,紫外域でのプラズモン共鳴による吸収を利用して,選択した波長に吸収ピークを持つ光学式ガスセンサ素子を設計した。この素子の構造は,ガラス基板上に2枚のナノスケールのAlプレートを垂直に並べたものである。設計の計算にはCOMSOL Multiphysics 5.1での有限要素法による電磁場解析を用いた.また,金属腐食の原因となるオゾンやアンモニアの吸収波長に近い波長でプラズモン共鳴を起こすことができる構造体の寸法を決定した。

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