極薄MEMS振動素子を用いたフレキシブルハプティクスデバイス開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS2-2

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 竹下 俊弘（産業技術総合研究所）, 山下 崇博（産業技術総合研究所）, 椿本 敏幸（オムロン）, 西尾 英俊（オムロン）, 奥野 博幸（オムロン）, 大澤 拓人（オムロン）, 小林 健（産業技術総合研究所）

キーワード: ハプティクス|極薄MEMS|PZT|フレキシブルエレクトロニクス|振動素子

要約(日本語): 本論文では極薄MEMS技術を用いて作製した極薄MEMS振動素子の開発とそのハプティクスデバイス応用に関して述べる。開発した極薄MEMS振動素子は7.26μmの厚さであり、柔軟性を有する。基礎特性評価の結果、印加電圧30Vで最大50.3μmの変位を得ており、人間の皮膚の知覚閾値(約1μm)を十分超えた値が得られた。また振動知覚試験を行った結果、振動知覚率が97.5%であり、十分な振動力が得ていることが実証された。

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