薄膜材料の熱伝導率測定のためのMEMS TEGデバイス作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS2-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 桃谷 幸志（MMIセミコンダクター）, 笠井 隆（MMIセミコンダクター）

キーワード: 熱伝導率|薄膜|MEMS|伝熱シミュレーション|フローセンサ

要約(日本語): 本研究では,熱式MEMSセンサに用いられる薄膜材料の熱伝導率を取得するためのTEGデバイスを設計し,薄膜材料の熱伝導率を取得した。さらに取得した熱伝導率を伝熱シミュレーションに反映させることで熱式MEMSセンサの温度予測精度の向上が確認できた。薄膜材料の熱伝導率測定用MEMS TEGデバイスと熱伝導率の取得方法,伝熱シミュレーションにおける温度予測結果について報告する。

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