物理的・化学的耐久性を兼備するフッ素エラストマ積層コーティングPDMS封止カンチレバー型触覚センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS3-1

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 髙橋 佑司（新潟大学）, 髙橋 拓海（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）, 野間 春生（立命館大学）, 寒川 雅之（新潟大学）

キーワード: 触覚センサ|シリコーンエラストマ|フッ素エラストマ|物理的耐久性|化学的耐久性

要約(日本語): 多分野に渡って使用される触覚センサには様々な環境下での使用に耐え得る物理的・化学的耐久性が必要である。我々はこれまで,MEMS触覚センサの封止材として機械的特性に優れたPDMSや耐薬品性に優れたフッ素エラストマを使用してきた。本研究では,物理・化学両面の耐久性を兼ね備えた触覚センサの実現に向けて,それら二つの封止材を組み合わせた封止方法を考案し,機械的特性および耐薬品性の評価を行ったので報告する。

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