小型化による電流損失低減効果を用いた結晶セレン薄膜フォトダイオードの高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS3-2

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 足立 悠輔（立命館大学）, 小林 大造（立命館大学）

キーワード: 結晶セレン|スケール効果|可視光用マイクロセンサ|アバランシェ効果|微細加工

要約(日本語): 結晶セレンフォトダイオード(PD)は可視光用の光電変換素子として有望である。本研究では、半導体微細加工プロセスを用いてSe/TiO2ヘテロ接合PDをマイクロスケールまで小型化することで、スケール効果による直列抵抗の低減を利用した高効率化を試みた。発表では、微細加工プロセスの影響と受光面積の減少によるセンサの直列抵抗と電流-電圧特性の変化について検証した結果を述べる。

PDFファイルサイズ: 781 Kバイト