リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS3-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 岡山 修也（京都大学）, 平井 義和（京都大学）, バネルジー アミット（京都大学）, 土屋 智由（京都大学）

キーワード: MEMS振動ジャイロスコープ|リング型振動子|ワイングラスモード|静電チューニング|モード回転

要約(日本語): リング型、半球型、円筒型といった軸対称形の振動子を持つMEMS振動ジャイロスコープは剛性の異方性が原因で,モードミスマッチや振動モードの回転が生じ、バイアス安定性が劣化する。本研究では、(100)シリコンリング型ジャイロスコープの静電チューニングにおけるモードの回転角とそのジャイロ性能への影響を解析した。その結果、モードの回転を補正するには静電チューニングが有効であることがわかった。

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