接着剤を用いた MEMS 触覚センサの接触部取り外し・交換可能化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS3-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 川﨑 雄記（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）, 野間 春生（立命館大学）, 寒川 雅之（新潟大学）

キーワード: 触覚センサ|MEMS|PDMS|接着剤|取り外し

要約(日本語): 本研究では、本研究室のエラストマで封止したMEMS触覚センサにおいて、これまでは一体で形成していた接触部を取り外し・交換可能とし、粘着性接着剤による仮固定を行った場合においても、従来とほぼ同等のセンサの応答が得られることを示した。これによりセンサ部分の再使用や、過剰なせん断力が加わった際に接着部の剥離によりセンサの破壊を防ぐことが可能となった。

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