再構成分光法のための特徴的な感度特性を有するプラズモニック中赤外ディテクタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9A3-SS3-6

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 安永 竣（東京大学）, 菅 哲朗（電気通信大学）

キーワード: 中赤外ディテクタ|分光|プラズモニクス|表面プラズモン共鳴|回折格子

要約(日本語): 本報告では,再構成分光法に適した,プラズモニック回折格子を有するシリコン中赤外ディテクタについて報告する.再構成分光法においては感度特性が変化に富む光ディテクタが望ましい.本研究では,シリコン上に狭隘な溝を掘りアルミニウム連続膜で覆うことで表面プラズモン共鳴を誘起する回折格子とし,非共鳴波長の光の反射率を上げることで,波長方向に鋭敏かつ大きな感度変化を実現した.

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