高感度・低消費電力容量型MEMS水素センサを用いた火災検知

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9P2-SS1-4

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 秋元 陽介（東芝）, 林 裕美（東芝）, 平松 直樹（東芝）, 増西 桂（東芝）, 齋藤 友博（東芝）, 山崎 宏明（東芝）, 中村 直文（東芝）, 小島 章弘（東芝）

キーワード: 火災検知|水素センサ|MEMS|容量型|PdCuSi金属ガラス

要約(日本語): 不完全燃焼の火災で発生する水素を検知するために、マイクロヒーターを内蔵した容量型MEMS水素センサを提案した。マイクロヒーターにより極微量水素に対する高感度化と間欠動作による低消費電力を実現した。試作した水素センサを内蔵した火災検知モジュールは不完全燃焼の火災で発生した66ppmの水素検出に成功した。

PDFファイルサイズ: 1,250 Kバイト