微小周期構造体の周期変化時における機械振動子のQ値評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9P3-SS1-2

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 猪股 直生（東北大学）, 頓所 侑夏（東北大学）, 小野 崇人（東北大学）

キーワード: 機械振動子|Q値制御|フォノニックバンドギャップ|周期性微小構造|MEMS

要約(日本語): 周期性微小構造体の周期長を伸ばすことでフォノニックバンドギャップ帯域を調整し,その帯域内外で機械振動子の共振周波数を出し入れすることでQ値が変化することを報告する.バンドギャップの変化は,異なる共振周波数を持つ各機械振動子の振動スペクトルを用いて実験的に評価した.このQ値変化において,微小構造パターンの影響と周期長を伸ばす際の応力による影響を合わせて述べる.

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