プラズモニック超小型分光素子の波長分解能の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9P3-SS1-3

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 大下 雅昭（電気通信大学）, 山本 陽介（電気通信大学）, 斎藤 史郎（IMRA JAPAN）, 菅 哲朗（電気通信大学）

キーワード: 分光計測|プラズモニクス|ショットキー光検出器|MEMS|近赤外

要約(日本語): 分光器の小型化は設置領域に制限のある装置上での分光分析を可能にするので、盛んに研究が行われている。従来の分光器は、入射光を回折格子で空間的に各波長成分に分離する光路長が必須であり、小型化が困難であった。本論文では,入射角によって光応答性を変化させることができるプラズモニック光検出器を用いた超小型分光器の波長分解能を評価した。1230nmから1330nmの波長域での分光器の性能を調べたところ,波長分解能は約20nmであった。

PDFファイルサイズ: 1,267 Kバイト