磁気光学効果を利用した光ファイバ圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9P3-SS1-5

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 宮本 光教（シチズンファインデバイス）, 饗場 哲也（シチズンファインデバイス）, 須江 聡（シチズンファインデバイス）, 久保 利哉（シチズンファインデバイス）

キーワード: 光ファイバ|圧力センサ|ファラデー効果|干渉計|ダイアフラム

要約(日本語): 光ファイバは極めて細径であることや光信号を高効率で長距離伝送できることから,超小型の遠隔センサを構成することが可能である.複雑な生体内や過酷な環境下でも安定した圧力計測システムを提供することを目指し,偏光とリング型干渉計,磁性体を用いた磁気光学式圧力センサを考案した. 本稿では,基本原理の基礎検討と,実際に試作したセンサが-4～40 kPaの圧力を検知できることを確認した.

PDFファイルサイズ: 2,140 Kバイト