パリレンを応用したフレキシブルSiマイクロニードル電極アレイの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 9P3-SS2-1

グループ名: 【E】第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2021/11/02

著者名: 中村 翼（豊橋技術科学大学）, 井戸川 槙之介（釧路工業高等専門学校）, 鈴木 巧（テクノプロR&D）, 山下 幸司（豊橋技術科学大学）, 沼野 利佳（豊橋技術科学大学）, 鯉田 孝和（豊橋技術科学大学）, 河野 剛士（豊橋技術科学大学）

キーワード: フレキシブルデバイス|Siマイクロニードル|微小電極アレイ|ニューロン計測|低侵襲

要約(日本語): 我々はニューロン計測時の組織損傷を軽減するために、Si成長技術を用いた直径5 μmのマイクロニードル電極を提案してきた。しかし、この電極は硬いSi基板上に形成されており、特に慢性埋め込み計測において、このSi基板が脳表を圧迫し組織損傷を引き起こすことが問題になっていた。本研究では、Si基板を生体適合性の高いパリレンフィルムに置き換え、フレキシブルな基板上に提案するSiマイクロニードル電極を製作した。

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