集積化MEMS技術によるマルチモーダル分子認識センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14A3-M-1

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Multimodal molecular recognition sensors based on integrated MEMS technology

著者名: 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面応力センサ|共振質量センサ|光干渉|抗原抗体反応|グラフェン|Surface stress sensor|Resonant mass sensor|Optical interference|Antigen-antibody reaction|graphene

要約(日本語): 本発表では、自立ナノ薄膜上に吸着させた分子によって印加される応力と分子質量を同時に計測するマルチモーダル分子認識センサを紹介する。吸着分子間の相互作用により印加される応力と分子質量は、それぞれ光干渉型表面応力測定と固有振動数測定により解析を行う。タンパク質マーカーの液中リアルタイム計測や、空気中のウイルス検出、におい分子等のマルチパーパス分子測定を実施した結果を紹介する。

要約(英語): This paper addresses multimodal molecular recognition sensor that simultaneously measures the stress and molecular mass associated with molecular adsorption on freestanding nanometer-thick membrane. The stress and molecular mass applied by interaction between adsorbed molecules are measured by optical interferometric surface stress measurement and resonant frequency measurement, respectively. We demonstrated real-time measurement of protein biomarkers in liquid, detection of viruses in the air, and odor molecules.

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