カリウムイオンエレクトレット製デバイス量産化のための長期信頼性技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P2-A-1

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Long-term reliability technology for mass-production of potassium ion electret devices

著者名: 三屋 裕幸(鷺宮製作所), 芦澤 久幸(鷺宮製作所), 下村 典子(鷺宮製作所), 石黒 巧真(鷺宮製作所), 本間 浩章(東京大学), 橋口 原(静岡大学), 年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Hiroyuki Mitsuya(Saginomiya seisakusho, inc.), Hisayuki Ashizawa(Saginomiya seisakusho, inc.), Noriko Shimomura(Saginomiya seisakusho, inc.), Takuma Ishiguro(Saginomiya seisakusho, inc.), Hiroaki Honma(The University of Tokyo), Gen Hashiguchi(Shizuoka University), Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: MEMS|エナジーハーベスタ|エレクトレット|振動発電|長期信頼性|MEMS|energy harvester|electret|vibrational energy harvester|long-term reliability

要約(日本語): 独自開発のカリウムイオンエレクトレットを用いた振動発電型エナジーハーベスタの量産化のために、100℃の高温環境下でもエレクトレット帯電電圧250Vを10000時間以上にわたって全く低下せずに維持する量産化技術を開発した。特に、MEMSチップをシーム溶接する際に発生する水素ガスを水素ゲッターで抑制し、またパッケージ内を真空にすることで接着剤の劣化を抑制することで、エレクトレット帯電電圧の劣化低減できることを見出した。

要約(英語): We have discovered that hydrogen getter and vacuum packaging for electret-based MEMS vibrational energy harvester prevent degradation of the built-in potential of electret for more than 10,000 hours at an elevated temperature of 100℃, indicating promising potential as an energy harvester for the monitoring system used in a high-temperature environment such as factories and chemical plants.

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