超小型原子時計におけるプローブ光生成のためのFBAR発振器および波長可変VCSELの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P2-A-2

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): FBAR oscillator and wavelength tunable VCSEL for chip-level integrated atomic clock

著者名: 原 基揚(情報通信研究機構), 趙 智健(東北大学), 品田 聡(情報通信研究機構), 戸田 雅也(東北大学), 矢野 雄一郎(情報通信研究機構), 原 紳介(情報通信研究機構), 笠松 章史(情報通信研究機構), 伊藤 浩之(東京工業大学), 小野 崇人(東北大学), 井戸 哲也(情報通信研究機構)

著者名(英語): Motoaki Hara(National Institute of Information and Communications Technology), Zhijian Zhao(Tohoku University), Satoshi Sinada(National Institute of Information and Communications Technology), Masaya Toda(Tohoku University), Yuichiro Yano(National Institute of Information and Communications Technology), Shinsuke Hara(National Institute of Information and Communications Technology), Akifumi Kasamatsu(National Institute of Information and Communications Technology), Hiroyuki Ito(Tokyo Institute of Technology), Takahito Ono(Tohoku University), Tetsuya Ido(National Institute of Information and Communications Technology)

キーワード: 原子時計|レーザ|発振器|VCSEL|FBAR|Atomic clock|Laser|Oscillator|VCSEL|FBAR

要約(日本語): 我々は超小型原子時計を開発している。 原子時計は、標準となるアルカリ金属原子の吸収線にRF発振器を安定化させる技術である。 原子の吸収線は高周波変調レーザを用いた分光によって、狭線幅なCPT共鳴として取得でき、専用の垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL)とRF発振器の開発が必須となる。 本報では、原子時計用に開発された圧電薄膜共振子(FBAR)発振器とVCSELとについて、その進捗を示す。

要約(英語): We proposed key approaches to manufacturing cost reduction in the microfabricated atomic clock. One is the development of VCSEL for atomic clocks, which are designed so that the laser cavity length can be controlled by an electrostatic actuator. In addition, the atomic clock oscillator utilizes FBARs to increase circuit integration. We successfully made it operate in the 3 GHz band for both balanced and unbalanced outputs.

PDFファイルサイズ: 1,450 Kバイト