交流型ナノポア計測法による単一ナノ粒子のインピーダンス計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P2-A-5

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Impedance measurement of single nanoparticles by AC nanopore measurement method

著者名: 山本 貴富喜(東京工業大学), 橘田 和樹(東京工業大学), 坂本 まあみ(東京工業大学), 早川 渓(デンソー), 糠塚 明(デンソー), 加納 一彦(デンソー)

著者名(英語): Yamamoto Takatoki(Tokyo Institute of Technology), Kitta Kazuki(Tokyo Institute of Technology), Sakamoto Maami(Tokyo Institute of Technology), Hayakawa(Denso), Akira Iizuka(Denso), Kazuhiko Kano(Denso)

キーワード: ナノポア|交流|インピーダンス|単一粒子|電気容量|nanopore|alternating current|impedance|single particle|capacitance

要約(日本語): 交流型ナノポア法において、単一ナノ粒子の電気容量計測を実現するための、ナノポア形状に関して数値計算を行った。その結果、直径1μm～100nmのナノ粒子の場合、ナノポアエッジ部分の曲率半径が粒子と同等サイズであればfF～サブfF程度の電気容量変化となることが予想され、既存の計測器でも十分計測可能であることが明らかになった。

要約(英語): Numerical simulations on nanopore geometry were performed to realize the capacitance measurement of single nanoparticles in the AC nanopore method. The results showed that if the radius of curvature of the nanopore edge is the same size as the particle, the capacitance change is expected to be about fF for nanoparticles from 1 μm to 100 nm in diameter, which is sufficiently detectable.

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