1方向磁界駆動を可能とする電磁駆動2軸MEMSスキャナ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P2-D-2

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Two-Axis Electromagnetic Scanner on A One-Axis Magnetic Field

著者名: 岡本 有貴(産業技術総合研究所), 岡田 浩尚(産業技術総合研究所), 一木 正聡(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yuki Okamoto(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Hironao Okada(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Masaaki Ichiki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: LiDAR|電磁駆動アクチュエータ|MEMSスキャナ|MEMSミラー|共振|LiDAR|Electromagnetic Actuator|MEMS Scanner|MEMS Mirror|Resonant

要約(日本語): 本稿では、1 方向の磁界で 2 軸回転可能な MEMS スキャナについて述べた。可動部分において非対称フレームを形成することで、従来電磁力が印加されない方向の回転も可能でとなることが分かり、非対称構造による複数モードの中から高周波回転モードを利用することで、より高速にミラーを回転させられることを示した。

要約(英語): We developed a two-axis resonant electromagnetic scanner having an asymmetric frame that generates two-axis torques from a one-axis lateral external magnetic field. Two driving forces are generated by two independent electromagnetic actuators placed at both sides of the asymmetric frame, and the frame converts the one-directional forces into two-axis torques.

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