局所測定に対応した水晶発振回路式複素容量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P2-D-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of a quartz-based capacitive sensor for Localized sensing

著者名: 高橋 良輔(新潟大学), 櫻井 洋輔(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Ryosuke Takahashi(Niigata university), Yosuke Sakurai(Niigata university), Masayuki Sohgawa(Niigata university), Takashi Abe(Niigata university)

キーワード: 水晶発振回路|複素容量センサ|イメージング|電界集中|非接触|quartz oscillator|complex capacitive sensor|imaging|electric field concentration|contactless

要約(日本語): 本研究では,局所測定に対応した水晶発振回路式複素容量センサの開発を試みた。本センサの検出用コンデンサ(SC: Sensing Capacitor)として,電界閉じ込め効果を有する電極と,開口部を有する電界遮蔽用の浮遊電極を組み合わせることで,局所的な測定に適したセンサの開発を試みた。本技術を用いることで,誘電的な変化を伴う皮膚の状態分布やコンクリート内部の劣化度分布の判定など,局所測定が求められる分野へ応用されることが期待される。

要約(英語): In this paper, we report the development of quartz oscillator based complex capacitive sensor suitable for localized sensing purposes that utilizes a small aperture in a thin metallic film. The detector response around the aperture can be suppressed to one-thousandth of the response at the center of the aperture.

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